Energetiq白光光源
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所属品牌:Energetiq
产品简介:Energetiq提供各种白光光源如:自定义光谱光源,超亮度白光光源,激光驱动可调谐光源,激光驱动光源,极紫外光源等。
Energetiq采用突破性专利技术生产先进的下一代光源,包括我们的超亮激光驱动光源(LDLS®)和无电极Z-Pinch™EUV光源。我们的白光光源在宽光谱范围内产生高亮度,从柔和的x射线到最深的紫外线,通过可见光和近红外,并在可靠、紧凑的封装中提供高效的光收集。
自定义光谱光源CSE --Chromatiq Spectral Engine™(CSE)是一种系统级光源,可提供对发射光的光谱含量的精确控制。用户可以模拟真实世界的照明条件,组合来自多个来源的光谱,并塑造自定义光谱,以满足特定的测试和校准需求。
CSE提供无与伦比的光谱匹配精度、可重复性和速度,以优化生产环境中的光学测试和校准程序。光谱可以在不到10ms的时间内切换,以节省时间并提高工艺吞吐量。
CSE可以复制任何可见光光源的光谱,例如日光、LED、任何荧光灯、白炽灯、氙灯……;CSE也可以自定义输出光谱曲线,以满足特定的测试和校准需求。
技术指标
型号 | CSE-EQ-99-VIS | CSE-EQ-99-VIS-NIR |
波长范围 | 380~780nm | 380~1100nm |
光谱分辨率 | <5mm | <5mm |
切换速度 | <10ms | <10ms |
输出类型 | 6.5mm液体光导 | 6.5mm液体光导 |
规格书 | CSE-EQ-99-VIS_Data_Sheet.pdf |
激光驱动光源(LDLS®)高亮度、宽带光源
Energetiq LDLS光源可实现高效的深紫外到近红外生产,用于最先进的照明应用。
传统的方法使用弧光灯和放电来实现亮度、紫外线功率和灯的寿命,但这种方法限制了你能走多远。
获得专利的LDLS技术可产生极小、高亮度的等离子体,提供终极高效的光收集和从最深的紫外线到可见光再到近红外的宽光谱范围
技术指标
型号 | EQ-99X | EQ-99X-FC | EQ-99X-CAL | EQ-77X | EQ-77C | EQ-400 |
波长范围 | 170nm~2500nm | 190nm~2500nm | 200nm~800nm | 170nm~2500nm | 160nm~20,000nm | 170nm~2500nm |
等离子体尺寸(FWHM) | 100 µm x 180 µm | 100 µm x 180 µm | / | 125 µm x 380 µm | ~225 µm | 370 µm x 800 µm |
数值孔径 | 0.47 | 0.22 | / | 0.5 | / | 0.5 |
灯泡寿命 | 10,000小时 | 10,000小时 | / | 10,000小时 | 10,000小时 | 10,000小时 |
特点 | 体积小,经济 | 光纤耦合输出 | 宽带校准源 | 极高亮度 | 超宽波长范围 | 超高光射 |
激光驱动可调谐光源(LDTLS®)
在窄带中提供高光输出的波长可调谐光源
用于传感器校准和连续、高吞吐量应用
Energetiq LDTLS®紧凑型光源可让您摆脱波长限制,在最宽的光谱范围内进行快速、可重复和精确的测量。
激光驱动可调谐光源(LDTLS®)围绕我们的激光驱动光源(LDLS®)技术构建,通过光纤耦合输出的便利性,您可以获得宽波长范围的可调谐性、高光谱分辨率和超长寿命。LDTLS具有精确的高性能单色仪,用于精确的波长选择和可重复的光输出。
技术指标
型号 | TLS-EQ-9-S | TLS-EQ-77-S | TLS-EQ-77-UV | TLS-EQ-77-NIR |
波长范围 | 380~1100nm | 350~1100nm | 200~770nm | 800~1700nm |
波长精准度 | ±0.5nm | ±0.5nm | ±0.5nm | ±0.5nm |
扫描速度 | <20ms for a 2nm step | |||
常规光输出端 | 1500µm芯径光缆 | 1500µm芯径光缆 | 600µm芯径光缆 | 1500µm芯径光缆 |
数值孔径(NA) | 0.39 | 0.39 | 0.39 | 0.39 |
光谱分辨率(FWHM) | 用户可选:1.0~8.0nm | 6.5nm | 4.7nm | 9nm |
激光等级 | Class 1 (IEC 60825: 2014) | |||
最大带内通量 | 2.37 mW at 824 nm | 4.9 mW at 400 nm | 1.6 mW at 300 nm | 1.62 mW at 920 nm |
平均带内通量 | ~1.20 mW | ~2.3 mW | ~1.1 mW (200 nm - 500 nm) | ~0.44 mW |
特点 | 中端、灵活的TLS,具有可配置的分辨率 | 定制单色仪和快速波长调谐 | 紫外线波长范围内的高辐射单色光 | 近红外(NIR)波长范围内的单色光 |
极紫外光源
使用无电极的紧凑、可靠的EUV
Z-Pinch™技术, 易于集成的模块化设计
Energetiq独特设计的EUV极紫外光源可最大限度地减少热负荷并减少碎片,使您能够在紧凑的模块化单元中控制峰值亮度和峰值功率。
半导体光刻、掩模毛坯检测、材料研究和生命科学研究等领域的进步依赖于在深紫外和x射线区域(10至50nm)之间产生辐射的基于等离子体的光源。传统的产生极端紫外线的方法使用电极,电极会产生热量并产生不需要的碎片——不适合生产环境。
Energetiq的无电极Z-Pinch™EUV极紫外电源采用专利设计,将电流感应耦合到等离子体中,以清洁、凉爽的方式产生超短波长的紫外线辐射。模块化设计提供了高启动时间和现场验证的可靠性,并具有用户控制输出的灵活性,以优化功率和亮度。
技术指标
型号 | EQ-10R | EQ-10R-HP | EQ-10R-SXR |
典型输出功率 | 10W* | 20W* | 400mW+ |
典型亮度 | 5 W/mm².sr | 8 W/mm².sr | N/A |
脉冲速率 | 达到2kHz | 达到2.5kHz | 达到2kHz |
目标气体 | 氙 | 氙 | 氮 |
应用 | 研发 | 计量学,显微镜 | 水窗显微镜,光学测试 |
特点 | 用于EUV研发的高可靠性、高稳定性10瓦EUV电源 | 用于计量和测试的高亮度20瓦EUV光源 | 半导体计量和水窗口显微镜 |
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