Phasics基于创新的高分辨率波前传感技术,提供全方位的波前测量系统和定量相位成像解决方案。Phasics公司独特的波前传感专利技术被称为四波横向剪切干涉术(QWLSI)。开发这项技术是为了克服Shack-Hartmann的局限性:它提供超高分辨率(高达852×720个测量点)、高灵敏度(亚纳米)和大动态范围(数百微米)。
此外,Phasics的波前传感器结构紧凑、消色差且易于使用,这得益于它们即使在高度发散的光束上也能在没有中继光学器件的情况下进行直接测量。Phasics的核心能力是通过四波横向剪切干涉测量进行波前测量和分析。对于每个应用程序,专家软件包提供完整且相关的分析,以充分利用高分辨率波前测量。Phasics以客户为中心,致力于满足所有需求:其强大的研发团队不断开发创新功能,探索新的应用程序,并根据客户的要求定制标准配置。
Phasics波前传感器/波前分析仪参数指标
型号 | 波长范围 | 靶面尺寸 | 空间分辨率 | 取样分辨率 | 相位分辨率 | 绝对精度 |
SID4 UV HR | 190~400nm | 13.84 x 10.88 mm² | 38.88 µm | 355 x 280 | 1 nm RMS | 10 nm RMS |
SID4 | 400~1100nm | 5.02 x 3.75 mm² | 27.6 µm | 182 x 136 | < 2 nm RMS | 10 nm RMS |
SID4 HR | 400~1100nm | 9.98 x 8.64 mm² | 24 µm | 416 x 360 | < 2 nm RMS | 20 nm RMS |
SID4 SWIR HR | 900~1700nm | 9.60 x 7.68 mm² | 60 µm | 160 x 128 | 2 nm RMS | 15 nm RMS |
SID4 SWIR | 900~1700nm | 9.60 x 7.68 mm² | 120 µm | 80 x 64 | < 2 nm RMS | 15 nm RMS |
SID4 UHR | 400~1100nm | 15.16 x 15.16 mm² | 29.6 µm | 512 x 512 | <2 nm RMS | 15 nm RMS |
SID4 eSWIR | 900~2350nm | 9.60 x 7.68 mm² | 120 μm | 80 x 64 | < 6 nm RMS | <40nm RMS |
SID4 DWIR | 300~500nm | 10.08 x 8.16 mm² | 68 µm | 160 x 120 | 25 nm RMS | 75 nm RMS |
SID4 HR V | 400~1100nm | 4.73 x 3.55 mm² | 29.6 µm | 160 x 120 | < 2 nm RMS | 10 nm RMS |
SID4 UV | 250~400nm | 7.4 x 7.4 mm² | 29.6 µm | 250 x 250 | 2 nm RMS | 10 nm RMS |
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